关于拓荆

发展历程

2020
2020年12月
获国际大厂先进制程重复订单
开展UV Cure 研发,首台出货到客户端
客户端总流片量超过1500万片
2020年11月
“十三五”国家重大专项通过验收
整机累计出货量超过100台套
2020年09月
认定为“辽宁省企业技术中心”

2019
2019年12月
泛半导体应用TFLITE研制成功
2019年12月
获评国家知识产权示范企业
2019年12月
完成第四轮融资
2019年10月
获批设立“辽宁省博士创新实践基地”
2019年09月
SACVD研制成功并出厂到客户端
2018
首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
2018年12月
12英寸ALD通过客户端14nm产业化验证
2018年10月
2017
首台量产型 HTM PECVD 出厂到客户端
2017年12月
PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
2017年10月
完成第三轮融资
2017年8月
2016
拓荆新厂投入使用
2016年12月
“十一五”国家重大专项通过验收
2016年4月
首台12英寸ALD出厂到客户端
2016年3月
2015
获批“十三五”国家重大专项
2015年12月
完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
2015年9月
PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
2015年3月
2014
获批组建“辽宁省薄膜设备工程研究中心”
2014年12月
中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
2014年8月
完成公司首轮增资
2014年5月
2013
PF-300T通过中芯国际产品线测试
2013年12月
首台12寸PF-300销售
2013年4月
2012
推出12英寸多反应腔PF-300T设备
2012年12月
2011
首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
2011年10月
获批建设辽宁省半导体薄膜技术装备工程技术研究中心
2011年8月
2010
沈阳拓荆科技有限公司成立
2010年4月
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