产品系列

SACVD设备

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产品介绍

SA-300T , SA-200T
12英寸 , 8英寸SACVD设备 

产品介绍
SA-300T系列是我公司自主研发的次常压化学气相沉积(SACVD)设备,拥有自主知识产权。SACVD反应腔搭载在已通过量产验证的高产能PECVD平台上,充分实现设备对产能的需求。该设备主要应用在STI、PMD/ILD等,满足Gap-fill的需求。

 
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